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        高純氣路面板 您當前的位置: 首頁 > 產品中心 > 等離子技術 > 部件 > 高純氣路面板

        產品概述 Product Overview

        費勉設計一款多氣路面板用于提供優于100ppt級別高純紫外光源工作氣體,包含 He, Ne, Ar, Kr, Xe...等多種工作氣體,提高光子分辨率,延長燈頭使用壽命。


        規格說明 Specification

        ● 精密氣體流量控制:0.1sccm-10sccm

        ● 純度:純化后氣體純度優于100ppt

        ● 多路氣體切換

        ● 全金屬VCR超高純氣路標準設計



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        標簽: 紫外光源
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