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        產品概述 Product Overview

        ● 安裝法蘭:DN 350CF
        ● 襯底尺寸:3英寸
        ● 加熱器:SiC加熱器
        ● K型熱偶測溫

        ● 旋轉速度:0~30 RMP
        ● 溫度范圍:RT-1000℃
        ● Z軸行程:50mm

        ● 定制長度

        ● 應用領域:薄膜制備、脈沖激光沉積、磁控濺射


        相關配件 Options

        ● 手動(氣動)擋板
        ● 水冷套
        ● 溫度計:K型或C型熱偶
        ● Z軸行程:最大250mm,手動/馬達控制
        ● DPRF: ±180°,手動/馬達控制


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        標簽: 低溫樣品架
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