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        MBE-1000全自動直線傳樣系統 您當前的位置: 首頁 > 產品中心 > 薄膜制備 > 系統產品 > MBE-1000全自動直線傳樣系統

        產品概述 Product Overview

        費勉儀器推出了MBE-1000分子束外延系統,可進行5×3'',4×4'',單片6'', 單片8''襯底外延生長。該系統可實現全自動傳樣和生長。生長室采用雙溫區襯底加熱,實現生長溫度均勻可控。MBE-1000系統包含10個蒸發源端口和10個蒸發源擋板端口,可實現復雜結構薄膜的精確逐層生長。

        MBE-1000全自動直線傳樣系統采用直線機械手傳樣,可進行10英寸襯底托盤在進樣室,預處理室,生長室和出樣室之間傳遞。
        根據客戶需求,費勉儀器提供不同型號的熱蒸發源、裂解源、電子束蒸發源和氣體源。系統可安裝RHEED、BFM、RGA等,實現對薄膜生長的原位監控。系統還可以搭配費勉儀器的MBE束流監測光譜系統,實現可重復性和批量性的完全自動化生長。費勉儀器提供MBE操作軟件,包括生長工藝程序編寫、自動生長控制和不間斷數據記錄三大功能,可以執行生長工藝程序控制擋板運動,源爐溫度,襯底溫度,襯底旋轉速度和方向。控制軟件包括溫度曲線,真空壓力曲線,電源輸出功率曲線,各系統間傳樣等工藝需求功能。



        技術規格 Mechanical Specifications


        配置 MBE-1000
        生長室
        腔體尺寸 900mm I.D.
        極限真空 <2×10-10mbar
        液氮冷屏 標配
        冷屏通液氮后極限真空
        <5×10-11mbar
        襯底加熱器最高溫度
        1000℃
        襯底加熱器溫度穩定性
        PID控制,±0.5℃
        襯底最大尺寸
        8inch
        襯底旋轉
        40RPM
        蒸發源配置
        CF150×7/C100×3
        獨立的蒸發源擋板
        電機驅動
        離子規
        1×10-3~2×10-11mbar
        烘烤溫度
        200℃
        預處理 極限真空 <8×10-11mbar
        液氮冷屏 標配
        預處理加熱器最高溫度
        450℃
        離子規 1×10-3~2×10-11mbar
        進樣室 極限真空 <1×10-8mbar
        腔體水冷夾層 選配
        樣品停放臺 15個
        紅外烘烤燈 選配
        全量程規
        1×103~5×10-9mbar
        系統控制 觸摸屏操作面板
        加配
        生長工藝程序編寫
        加配
        自動生長控制
        加配
        不間斷數據記錄 加配
        報警保護功能 加配
        聯鎖功能 加配
        選配 出樣室 選配
        CCD
        選配
        手套箱 選配
        磷回收系統
        選配
        襯底紅外測溫系統
        選配
        真空照明系統
        選配
        SMS 選配
        MBE束流監測光譜系統 選配




        MBE-1000 配套蒸發源


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        標簽: MBE系統
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