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MBE-1000Cluster全自動傳樣系統
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產品概述 Product Overview
為了實現在4英寸晶圓上外延生長材料，費勉儀器推出了MBE-800分子束外延系統。標準版系統采用雙溫區襯底加熱器，并包含12個蒸發源端口，可實現復雜結構薄膜的精確逐層生長。MBE-800的定制版本也涵蓋了特定的生產需求，例如超高真空離子輔助鍍膜系統。
MBE-800系統具有高可靠性、多功能性和緊湊性，可兼容4英寸以下襯底外延生長。該系統不僅可以作為應用研發設備，同時也適用于準批量生產應用。
MBE-800手動傳樣系統，采用磁耦合傳樣桿，可進行4英寸樣品傳遞。機械手行程可達1200mm，滿足襯底在生長腔室和預處理腔室之間傳遞。同時機械手可在垂直方向提供25mm的移動空間，滿足襯底取放操作。該傳樣系統無需使用二次運動工具，在降低成本的同時極大的簡化了襯底傳輸步驟。
MBE-800 Cluster全自動傳樣系統，將不同腔體集成在圓形傳樣腔上，并搭配360°連續旋轉的機械臂組件，最大行程1350mm，可以實現襯底在不同腔室之間的真空傳遞。通過高扭矩磁耦合驅動器驅動機械臂旋轉，并由安裝在機械臂前端的定位基片實現精準定位。機械臂通過線性驅動可以在垂直方向提供0~25mm自由移動，實現襯底的取放操作。
MBE-800手動傳樣系統
MBE-800手動傳樣系統還可將快速進樣室與熱處理室通過直線段連接，由費勉儀器自行研制的真空傳樣小車不僅可以實現襯底在快速進樣室和預處理室之間自由轉移，并可極大提升樣品停放數量，使該系統更適合準批量化生產應用。
MBE-800全自動傳樣系統
根據客戶需求，費勉儀器提供不同型號的熱蒸發源、裂解源、電子束蒸發源和氣體源。系統可安裝RHEED、QCM、BFM、RGA、OFM等，實現對薄膜生長的原位監控。費勉儀器提供MBE操作軟件，包括生長工藝程序編寫、自動生長控制和不間斷數據記錄三大功能，可以執行生長工藝程序控制擋板運動，源爐溫度，襯底溫度，襯底旋轉速度和方向。控制軟件包括溫度曲線，真空壓力曲線，電源輸出功率曲線，各系統間傳樣等工藝需求功能，保證生長過程的可重復性和安全性。
技術規格 Mechanical Specifications
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配置 | MBE-800 |
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生長室 |
腔體尺寸 |
650mm I.D. |
| 極限真空 |
<2×10-10mbar |
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| 液氮冷屏 | 標配 | |
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冷屏通液氮后極限真空 |
<5×10-11mbar |
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襯底加熱器最高溫度 |
1000℃ |
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襯底加熱器溫度穩定性 |
PID控制，±0.5℃ |
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襯底最大尺寸 |
4 inch |
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襯底旋轉 |
60RPM |
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蒸發源配置 |
CF63×2／CF100×7 / CF125×3 |
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獨立的蒸發源擋板 |
電機驅動 |
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離子規 |
1×10-3~2×10-11mbar |
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烘烤溫度 |
200℃ |
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| 預處理 | 極限真空 |
<2×10-10mbar |
| 腔體水冷夾層 | 選配 | |
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預處理加熱器最高溫度 |
450℃ |
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| 離子規 |
1×10-3~2×10-11mbar |
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| 進樣室 | 極限真空 |
<1×10-8mbar |
| 腔體水冷夾層 | 選配 | |
| 樣品停放臺 | 4~10個 | |
| 紅外烘烤燈 | 選配 | |
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全量程規 |
1×103~5×10-9mbar |
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| 傳樣室 | 極限真空 |
<5×10-10mbar |
| 傳樣時壓力 |
<1×10-9mbar |
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| 手動傳樣最大行程 | 1200mm | |
| 自動傳樣最大行程 | 1350mm | |
| 離子規 |
1×10-3~2×10-11mbar |
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| 存儲室 | 樣品停放臺 |
10個（選配） |
| 系統控制 |
觸摸屏操作面板 |
加配 |
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生長工藝程序編寫 |
加配 | |
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自動生長控制 |
加配 | |
| 不間斷數據記錄 | 加配 | |
| 報警保護功能 | 加配 | |
| 聯鎖功能 | 加配 | |
| 選配 | CCD | 選配 |
| 手套箱 | 選配 | |
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磷回收系統 |
選配 | |
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襯底紅外測溫系統 |
選配 | |
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真空照明系統 |
選配 | |
| SMS | 選配 |
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| MBE-800 配套蒸發源 | ||
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