青青草国产成人99久久,aⅴ精品无码无卡在线观看,国产成人无码免费视频在线,色欲久久久中文字幕综合

<tbody id="tuuwi"><span id="tuuwi"></span></tbody>
    <tbody id="tuuwi"></tbody>
  • <samp id="tuuwi"></samp>

        MBE-300 您當前的位置: 首頁 > 產品中心 > 薄膜制備 > 系統產品 > MBE-300

        產品亮點 Highlights

        ● 生長腔為柱狀結構,材質為SS316不銹鋼

        ● 模塊化設計,既滿足現有材料制備的需求,也提供未來擴展可能性

        ● 配置及性能指標滿足高精度薄膜材料(襯底尺寸最大可達1-inch)制備的需求

        ● 應用范圍廣,如:超導薄膜,拓撲絕緣體,氧化物,過渡金屬硫族化合物(TMDCs),異質結構,等等


        技術規格 Mechanical Specifications


        生長室
          生長腔內徑:250mm
          生長腔極限真空:<5×10-10 mbar
          超高真空抽氣系統:450L/s以上抽速分子泵(Edwards或Pfeiffer品牌),包含前級機械泵及配套真空管路、安全閥等;可選配離子泵、TSP等,以實現更好的本底真空
          真空測量:離子規及Pirani真空規,覆蓋2×10-11 mbar至大氣壓的測量范圍,并與真空控制系統關聯集成,實現系統的安全保護
          4軸樣品架(垂直方向安裝):匹配標準flag-type樣品托,工作溫度:室溫-1200K;可選配低溫模塊(液氮制冷),電子束加熱模塊,或者Direct Heating模塊
          包含膜厚測量儀(QCM)及配套的線性驅動,實現晶振探頭的移動操作
          蒸發源安裝口:10個;可根據用戶實際需求進行低、中、高、電子束蒸發源的配置
          包含蒸發源擋板,可實現薄膜樣品的自動生長
          可選配離子源(Ion Source)
          可選配等離子源(Plasma Source)
          可選配高能電子衍射儀(RHEED)
          可選配液氮冷井
        快速進樣室
          本底真空:<5×10-8 mbar
          超高真空抽氣系統:80L/s分子泵(Edwards或Pfeiffer品牌),包含前級機械泵及配套真空管路、安全閥、放氣閥等
          真空測量:全量程真空規,覆蓋5×10-9 mbar至大氣壓的測量范圍,并與真空控制系統關聯集成,實現系統的安全保護
          樣品停放臺:6個停放位(可升級至12個停放位)
          樣品傳遞裝置:600mm行程傳樣桿,包含樣品托抓取頭及法蘭調節器
          VAT CF63閘板閥,用于生長室與快速進樣室的隔斷
        系統集成及控制
          真空控制及保護系統,集成真空規信號、分子泵控制、蒸發源保護、烘烤保護等功能
          包含蒸發源、樣品架的溫度控制軟件
          包含擋板控制軟件
          熱風式烘烤模塊,烘烤溫度均勻,拆裝方便




        MBE-300 配套蒸發源


        查看詳情




        視頻 Video


        相關下載 Related Downloads

          暫無下載內容
        標簽: MBE系統
        青青草国产成人99久久,aⅴ精品无码无卡在线观看,国产成人无码免费视频在线,色欲久久久中文字幕综合