產品概述 Product Overview 費勉儀器提供的4軸閉循環低溫樣品架可以實現樣品位置以及姿態的精確控制，它主要由低溫樣品桿、溫度控制系統、XYZ-R1位移臺、馬達控制系統四部分組成。整個樣品架及位移臺均使用無磁材料，可以在超高真空下使用。樣品臺可以在X、Y、Z方向大

產品概述 Product Overview 費勉儀器提供的5.5軸閉循環低溫樣品架可以實現樣品位置以及姿態的精確控制，它主要由低溫樣品桿、溫度控制系統、XYZ-R1位移臺、馬達控制系統四部分組成。整個樣品架及位移臺均使用無磁材料，可以在超高真空下使用。樣品臺可以在X、Y、Z方向

產品概述 Product Overview 費勉儀器提供的5A軸閉循環低溫樣品架可以實現樣品位置以及姿態的精確控制，它主要由低溫樣品桿、溫度控制系統、XYZ-R1位移臺、馬達控制系統四部分組成。整個樣品架及位移臺均使用無磁材料，可以在超高真空下使用。樣品臺可以在X、Y、Z方向大

產品概述 Product Overview 費勉儀器提供的5F軸閉循環低溫樣品架可以實現樣品位置以及姿態的精確控制，它主要由低溫樣品桿、溫度控制系統、XYZ-R1位移臺、馬達控制系統四部分組成。整個樣品架及位移臺均使用無磁材料，可以在超高真空下使用。樣品臺可以在X、Y、Z方向大

產品概述 Product Overview 費勉儀器提供的6軸閉循環低溫樣品架可以實現樣品位置以及姿態的精確控制，它主要由低溫樣品桿、溫度控制系統、XYZ-R1位移臺、馬達控制系統四部分組成。整個樣品架及位移臺均使用無磁材料，可以在超高真空下使用。樣品臺可以在X、Y、Z方向大

產品概述 Product Overview ● 安裝法蘭：DN 350CF ● 襯底尺寸：3英寸 ● 加熱器：SiC加熱器 ● K型熱偶測溫 ● 旋轉速度：0~30 RMP ● 溫度范圍：RT-1000℃ ● Z軸行程：50mm ● 定制長度 ● 應用領域：薄膜制備、脈沖激光沉積、磁控濺射 相關配件